GB/T 11164-1999标准基本信息
标准名称：真空镀膜设备通用技术条件
标准号：GB/T 11164-1999
发布日期：1999-04-08
实施日期：1999-09-01
被代替日期：2012-03-01
中国标准分类：J78
国际标准分类：23 流体系统和通用件，23.160 真空技术
归口单位：全国真空技术标准化技术委员会
执行单位：全国真空技术标准化技术委员会
主管部门：中国机械工业联合会
国家标准《真空镀膜设备通用技术条件》由TC18（全国真空技术标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为中国机械工业联合会。
上海曙光机械制造厂。
GB/T 11164-1999预览图：
