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GB/T 41751-2022

GB/T 41751-2022 氮化镓单晶衬底片晶面曲率半径测试方法

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GB/T 41751-2022标准基本信息

标准名称:氮化镓单晶衬底片晶面曲率半径测试方法

标准号:GB/T 41751-2022

发布日期:2022-10-14

实施日期:2023-02-01

标准类别:方法

中国标准分类:H21

国际标准分类:77 冶金,77.040 金属材料试验

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门:国家标准化管理委员会

国家标准《氮化镓单晶衬底片晶面曲率半径测试方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、苏州纳维科技有限公司、中国电子科技集团公司第四十六研究所、哈尔滨奥瑞德光电技术有限公司、厦门柯誉尔科技有限公司、山西华晶恒基新材料有限公司、福建兆元光电有限公司。

GB/T 41751-2022预览图:

GB/T 41751-2022 氮化镓单晶衬底片晶面曲率半径测试方法

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