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GB/T 42676-2023 半导体单晶晶体质量的测试 X射线衍射法

下载格式:pdf标准分类:国家标准

GB/T 42676-2023标准基本信息

标准名称:半导体单晶晶体质量的测试 X射线衍射法

标准号:GB/T 42676-2023

发布日期:2023-08-06

实施日期:2024-03-01

标准类别:方法

中国标准分类号:H21

国际标准分类号:77 冶金,77.040 金属材料试验

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会

主管部门:国家标准化管理委员会

国家标准《半导体单晶晶体质量的测试 X射线衍射法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 中国电子科技集团公司第四十六研究所、有色金属技术经济研究院有限责任公司、北京通美晶体技术股份有限公司、山东有研半导体材料有限公司、弘元新材料(包头)有限公司、哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司、浙江海纳半导体股份有限公司、国标(北京)检验认证有限公司、丹东新东方晶体仪器有限公司、有研国晶辉新材料有限公司、江苏卓远半导体有限公司、新美光(苏州)半导体科技有限公司。

主要起草人 何烜坤 、刘立娜 、李素青 、庞越 、马春喜 、许蓉 、任殿胜 、王元立 、朱晓彤 、李向宇 、杨阳 、潘金平 、王书明 、赵松彬 、林泉 、李国平 、张新峰 、赵丽丽 、夏秋良 。

GB/T 42676-2023预览图:

GB/T 42676-2023 半导体单晶晶体质量的测试  X射线衍射法

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