GB/T 30116-2013标准基本信息
标准名称：半导体生产设施电磁兼容性要求
标准号：GB/T 30116-2013
发布日期：2013-12-17
实施日期：2014-04-15
中国标准分类：L95
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《半导体生产设施电磁兼容性要求》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
工业和信息化部电子工业标准化研究院、安徽鑫阳电子有限公司。
GB/T 30116-2013预览图：
