GB/T 30652-2014标准基本信息
标准名称：硅外延用三氯氢硅
标准号：GB/T 30652-2014
发布日期：2014-12-31
实施日期：2015-09-01
中国标准分类：H83
国际标准分类：29 电气工程，29.045 半导体材料
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《硅外延用三氯氢硅》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
中锗科技有限公司、南京国盛电子有限公司、南京中锗科技股份有限公司。
GB/T 30652-2014预览图：
