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GB/T 34899-2017 微机电系统(MEMS)技术 基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法

下载格式:pdf标准分类:国家标准

GB/T 34899-2017标准基本信息

标准名称:微机电系统(MEMS)技术 基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法

标准号:GB/T 34899-2017

发布日期:2017-11-01

实施日期:2018-05-01

中国标准分类:L55

国际标准分类:31 电子学,31.200 集成电路、微电子学

归口单位:全国微机电技术标准化技术委员会

执行单位:全国微机电技术标准化技术委员会

主管部门:国家标准化管理委员会

国家标准《微机电系统(MEMS)技术 基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法》由TC336(全国微机电技术标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

中北大学、中机生产力促进中心。

GB/T 34899-2017预览图:

GB/T 34899-2017 微机电系统(MEMS)技术 基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法

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