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GB/T 4060-2018 硅多晶真空区熔基硼检验方法

下载格式:pdf标准分类:国家标准

GB/T 4060-2018标准基本信息

标准名称:硅多晶真空区熔基硼检验方法

标准号:GB/T 4060-2018

发布日期:2018-09-17

实施日期:2019-06-01

全部代替标准:GB/T 4060-2007

中国标准分类:H17

国际标准分类:77 冶金,77.040 金属材料试验

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会

主管部门:国家标准化管理委员会

国家标准《硅多晶真空区熔基硼检验方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

江苏中能硅业科技发展有限公司、亚洲硅业(青海)有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、峨嵋半导体材料研究所。

GB/T 4060-2018预览图:

GB/T 4060-2018 硅多晶真空区熔基硼检验方法

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