GB/T 37959-2019标准基本信息
标准名称：含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型
标准号：GB/T 37959-2019
发布日期：2019-08-30
实施日期：2020-03-01
中国标准分类：J07
国际标准分类：35 信息技术、办公机械，35.240 信息技术应用，35.240.50 信息技术在工业中的应用
归口单位：全国自动化系统与集成标准化技术委员会
执行单位：全国自动化系统与集成标准化技术委员会体系结构、通信和集成框架分会
主管部门：中国机械工业联合会
国家标准《含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型》由TC159（全国自动化系统与集成标准化技术委员会）归口上报，TC159SC5（全国自动化系统与集成标准化技术委员会体系结构、通信和集成框架分会）执行，主管部门为中国机械工业联合会。
中车信息技术有限公司、清华大学、北京机械工业自动化研究所有限公司、中国石油规划总院。
GB/T 37959-2019预览图：
