标准名称:改良西门子法生产多晶硅安全规范
标准号:GB 47499-2026
发布日期:2026-04-30
实施日期:2027-05-01
标准类别:安全
中国标准分类号:H 09
国际标准分类号:13 环保、保健和安全,13.100 职业安全、工业卫生
归口部门:工业和信息化部
技术委员会:全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
国家标准《改良西门子法生产多晶硅安全规范》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为工业和信息化部。
本文件规定了采用改良西门子法(氯硅烷法)生产多晶硅的企业(以下简称“企业”)开展安全生产的过程和要求。本文件适用于我国多晶硅生产企业的安全管理。
