标准名称：300mm硅外延片
标准号：GB/T 47917-2026
发布日期：2026-07-02
实施日期：2027-02-01
标准计划：20243061-T-469
标准类别：产品
中国标准分类号：H82
国际标准分类号：29 电气工程，29.045 半导体材料
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
主管部门：国家标准委
国家标准《300mm硅外延片》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准委。
本文件规定了直径300mm 硅外延片的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件和订货单内容。本文件适用于在直径300mm 硅抛光片衬底上生长的硅外延片。产品用于制作线宽14nm 及以上集成电路和分立器件。
