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JB/T 4081-2011 真空技术 溅射离子泵

JB/T 4081-2011标准基本信息

标准名称:真空技术 溅射离子泵

标准号:JB/T 4081-2011

发布日期:2011-12-20

实施日期:2012-04-01

制修订:修订

代替标准:JB/T 4081-1991;JB/T 4082-1991

中国标准分类:J78

技术归口:全国真空技术标准化技术委员会

批准发布部门:工业和信息化部

行业分类:无

标准类别:无

起草单位:北京中科科仪技术发展有限公司、沈阳真空技术研究所

起草人:朱国精、邹蒙 等

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