YS/T 936-2013 集成电路器件用镍钒合金靶材

YS/T 936-2013标准基本信息

标准名称：集成电路器件用镍钒合金靶材

标准号：YS/T 936-2013

发布日期：2013-10-17

实施日期：2014-03-01

制修订：制定

中国标准分类：H62

国际标准分类：77.150.40

技术归口：全国有色金属标准化技术委员会

批准发布部门：工业和信息化部

行业分类：无

标准类别：无

起草单位：有研亿金新材料股份有限公司、北京有色金属研究总院等

起草人：董亭义、何金江 等