SJ/T 11493-2015标准基本信息
标准名称：硅衬底中氮浓度的二次离子质谱测量方法
标准号：SJ/T 11493-2015
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
制修订：制定
中国标准分类：H82
国际标准分类：29.045
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
批准发布部门：工业和信息化部
行业分类：无
标准类别：方法标准
起草单位：信息产业专用材料质量监督检验中心、工业和信息化部电子工业标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司等
起草人：马农农、何友琴、何秀坤 等
