SJ/T 11507-2015 集成电路用 氧化层缓冲腐蚀液

SJ/T 11507-2015标准基本信息

标准名称：集成电路用 氧化层缓冲腐蚀液

标准号：SJ/T 11507-2015

发布日期：2015-04-30

实施日期：2015-10-01

制修订：制定

中国标准分类：L90

国际标准分类：31.030

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

批准发布部门：工业和信息化部

行业分类：无

标准类别：产品标准

起草单位：江阴润玛电子材料股份有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院

起草人：戈士勇、何珂、王周霞 等