YS/T 1031-2015 化学气相沉积炉

YS/T 1031-2015标准基本信息

标准名称：化学气相沉积炉

标准号：YS/T 1031-2015

发布日期：2015-04-30

实施日期：2015-10-01

制修订：制定

中国标准分类：H91

国际标准分类：77.180.

技术归口：全国有色金属标准化技术委员会

批准发布部门：工业和信息化部

行业分类：制造业

标准类别：产品标准

起草单位：湖南顶立科技有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所等

起草人：戴煜、 胡祥龙、 胡高健等

本标准适用于化学气相沉积。