SJ/T 11763-2020标准基本信息
标准名称：半导体制造设备人机界面规范
标准号：SJ/T 11763-2020
发布日期：2020-12-09
实施日期：2021-04-01
制修订：制定
中国标准分类：L 95
国际标准分类：31.55
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
批准发布部门：工业和信息化部
行业分类：无
标准类别：基础标准
起草单位：北京北方华创微电子装备有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院、北方华创科技集团股份有限公司等
起草人：付金生、冯亚彬、程朝阳 等
适用于半导体制造设备
