SJ 21199-2016 卧式等离子体增强化学气相淀积(PECVD)设备工艺验证方法

SJ 21199-2016标准基本信息

标准名称：卧式等离子体增强化学气相淀积(PECVD)设备工艺验证方法

标准号：SJ 21199-2016

英文名称：Technological verification procedures for horizontal plasma enhanced chemical vapor deposition equipment

发布部门：科技工业局

发布日期：2016-12-14

实施日期：2017-03-01