SJ 21475-2018标准基本信息
标准名称:磷化铟单晶片几何参数测试方法
标准号:SJ 21475-2018
英文名称:Test methods for geometric parameters of InP wafers
发布部门:科技工业局
发布日期:2018-12-29
实施日期:2019-03-01
SJ 21475-2018标准基本信息
标准名称:磷化铟单晶片几何参数测试方法
标准号:SJ 21475-2018
英文名称:Test methods for geometric parameters of InP wafers
发布部门:科技工业局
发布日期:2018-12-29
实施日期:2019-03-01