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SJ 21535-2018 电力电子器件用碳化硅外延片规范

SJ 21535-2018标准基本信息

标准名称:电力电子器件用碳化硅外延片规范

标准号:SJ 21535-2018

英文名称:Specification of silicon carbide epitaxial wafer for power electronic device

发布部门:科技工业局

发布日期:2018-12-29

实施日期:2019-03-01

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