SJ 21441-2018 SiC-HPSI 型高纯半绝缘碳化硅单晶片规范

SJ 21441-2018标准基本信息

标准名称：SiC-HPSI 型高纯半绝缘碳化硅单晶片规范

标准号：SJ 21441-2018

英文名称：Specification for high purity semi-insulating silicon carbide monocrystalline wafers of SiC-HPSI

发布部门：科技工业局

发布日期：2018-01-18

实施日期：2018-05-01

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