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SJ 21171-2016 MEMS 惯性器件光刻工艺技术要求

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SJ 21171-2016标准基本信息

标准名称：MEMS 惯性器件光刻工艺技术要求

标准号：SJ 21171-2016

英文名称：Technical requirements for MEMS inertial devices photolithography process

发布部门：中华人民共和国工业和信息化部

发布日期：2016-12-14

实施日期：2017-03-01

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