SJ 21552-2020 高密度功能基板混合多层集成工艺技术要求

SJ 21552-2020标准基本信息

标准名称：高密度功能基板混合多层集成工艺技术要求

标准号：SJ 21552-2020

英文名称：High density functional substrate--Technical requirement for multilayer hybrid Integration process

发布部门：科技工业局

发布日期：2020-06-03

实施日期：2020-08-01