标准名称：晶片包装片盒表面颗粒的测试 液体颗粒计数法
标准号：YS/T 1703-2024
发布日期：2024-10-24
实施日期：2025-05-01
制修订：制定
中国标准分类号：H17
国际标准分类号：77.04
批准发布部门：工业和信息化部
行业分类：制造业
标准类别：方法标准
适用范围：本文件规定了液体颗粒计数仪测试晶片包装片盒表面颗粒的方法。本文件适用于直径100mm、125mm、150mm、200mm、300mm的硅抛光片、硅外延片、SOI片及其他材质的半导体晶片包装片盒颗粒洁净度的测试。
