YS/T 983-2024 硅多晶还原炉尾气成分的测定 气相色谱法

标准名称：硅多晶还原炉尾气成分的测定 气相色谱法

标准号：YS/T 983-2024

发布日期：2024-10-24

实施日期：2025-05-01

制修订：修订

代替标准：YS/T 983-2014

中国标准分类号：H17

国际标准分类号：77.04

批准发布部门：工业和信息化部

行业分类：制造业

标准类别：方法标准