标准名称：氧化铟镓锌靶材
标准号：YS/T 1780-2025
发布日期：2025-04-10
实施日期：2025-11-01
制修订：制定
中国标准分类号：H62
国际标准分类号：77.150.99
批准发布部门：工业和信息化部
行业分类：制造业
标准类别：产品标准
适用范围：本文件规定了氧化铟镓锌靶材的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存及随行文件和订货单内容。本文件适用于以氧化铟粉末、氧化镓粉末、氧化锌粉末为原料，以常压烧结工艺生产的氧化铟镓锌靶材，主要应用于新型显示器件薄膜晶体管液晶显示器（TFT-LCD）、有机发光二极管（OLED）等产业，用来制备透明非晶态氧化物半导体薄膜晶体管沟道层半导体材料。
