YS/T 839-2012 硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率的椭圆偏振测试方法

YS/T 839-2012标准基本信息

标准名称：硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率的椭圆偏振测试方法

标准号：YS/T 839-2012

发布日期：2012-11-07

实施日期：2013-03-01

制修订：制定

中国标准分类：H68

国际标准分类：77.120.99

技术归口：全国有色金属标准化中心

批准发布部门：工业和信息化部

行业分类：无

标准类别：无

起草单位：中国计量科学研究院、有研半导体材料股份有限公司等股份有限公司

起草人：高英、武斌 等