标准号：IEC 62802:2017
发布日期：2017-07-27
Measurement method of a half-wavelength voltage and a chirp parameter for Mach-Zehnder optical modulator in high-frequency radio on fibre (RoF) systems
高频无线光纤（RoF）系统中马赫-曾德尔光调制器的半波电压和啁啾参数测量方法
IEC62802:2017标准的适用范围主要涉及半导体器件中氢浓度和扩散系数的测量方法。该标准规定了通过二次离子质谱法（SIMS）或其他等效技术测量半导体材料中氢浓度的程序，以及确定氢在半导体材料中扩散系数的方法。适用于半导体器件制造和质量控制过程中对氢含量的检测和分析。
IEC 62802:2017