TCO薄膜（透明导电氧化物薄膜）因其优异的光电性能，在薄膜太阳能电池领域具有重要应用。本研究聚焦于TCO薄膜的制备工艺，采用磁控溅射方法在玻璃衬底上沉积掺铝氧化锌（AZO）薄膜，并系统研究了溅射功率、衬底温度及退火条件对薄膜结构、光学和电学性能的影响。在此基础上，将制备的AZO薄膜作为前电极应用于HAC（异质结非晶/晶体硅）太阳能电池中，通过测试电池的J-V特性、外量子效率等参数，对比分析了不同TCO薄膜参数对电池性能的影响机制。结果表明，优化后的TCO薄膜显著提升了HAC电池的短路电流密度和填充因子，为高效HAC太阳能电池的TCO层设计提供了实验依据。
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TCO薄膜制备及其对HAC电池性能的影响研究