低压化学气相沉积（LPCVD）在光伏产业中主要用于制备高质量薄膜，如氮化硅和二氧化硅，作为减反射层和钝化层。该技术通过在低压环境下热分解反应气体，实现均匀、致密的沉积，提升太阳能电池的光吸收效率和载流子收集率。LPCVD在晶体硅电池领域应用广泛，可有效降低表面复合损耗，提高电池开路电压与转换效率，同时兼容大规模生产，推动光伏组件成本下降。
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0291.LPCVD在光伏产业的应用
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