臭氧氧化退火工艺对多晶硅太阳电池的性能影响研究

本文研究了臭氧氧化退火工艺对多晶硅太阳电池性能的影响。通过引入臭氧氧化步骤并结合退火处理，分析了该工艺对电池表面钝化效果、少数载流子寿命及转换效率的改善作用。实验结果表明，优化后的臭氧氧化退火工艺能有效降低表面复合速率，提升电池的开路电压和短路电流密度，从而显著提高多晶硅太阳电池的整体性能。

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