本文针对金刚线切割多晶PERC太阳电池的背叠层钝化工艺进行了系统优化研究。通过调整氧化铝与氮化硅叠层薄膜的制备参数，包括沉积温度、厚度比例及退火条件，显著提升了背表面的钝化效果。优化后的工艺有效降低了表面复合速率，提高了电池的开路电压和填充因子，最终使多晶PERC电池的光电转换效率获得明显提升。研究结果为金刚线切割多晶硅太阳电池的工业化生产提供了重要的工艺参考。
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金刚线切割的多晶PERC太阳电池背叠层钝化工艺的优化