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CuIn,GaSe,S2吸收剂元素硒-硫溅射前体在30x30平方厘米上的退火优化

该研究针对Cu(In,Ga)Se2和Cu(In,Ga)(S,Se)2薄膜太阳能电池中的吸收层制备,提出一种基于硒-硫(Se-S)共溅射前驱体的退火工艺优化方法。通过在30x30平方厘米的大面积基底上沉积包含铜、铟、镓、硒和硫元素的溅射前体,系统研究了后退火处理中温度、升温速率及气氛组成对薄膜结晶质量、元素分布均匀性及相纯度的影响。目标是实现高性能、低成本的大面积吸收层,以推动该类薄膜太阳能电池的产业化应用。

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