T/CAS 304-2018标准基本信息
标准名称：磁控溅射硅靶材及绑定靶材
标准编号：T/CAS 304—2018
英文标题：Magnetron sputtering silicon targets and bound targets
国际标准分类号：29.045
中国标准分类号：L19
国民经济分类：C381 电机制造
发布日期：2018年05月29日
实施日期：2018年05月29日
起草人：张磊、姜大川、崔娜、李鹏廷、谭毅、顾正、石爽、康明生、朱辉、郄奕、张卫、姚玉杰、陈良杰、李云飞、王登科
起草单位：青岛蓝光晶科新材料有限公司、大工(青岛)新能源材料技术研究院有限公司、河北东同光电科技有限公司、大连理工大学
范围：本标准规定了磁控溅射硅靶材的分类及牌号、原料、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、供货状态及订货单（或合同）内容。本标准适用于半导体等电子器件用的各种磁控溅射硅靶材。
