T/ZZB 0648-2018标准基本信息
标准名称：200 mm重掺磷直拉硅单晶抛光片
标准编号：T/ZZB 0648—2018
英文标题：200 mm heavily phosphorus-doped single crystalline Czochralski silicon polished wafers
国际标准分类号：29.045
中国标准分类号：H82
国民经济分类：C397 电子器件制造
发布日期：2018年10月19日
实施日期：2018年11月01日
起草人：本标准主要起草人：许峰、朱华英、陈平人、田达晰、梁兴勃、刘红方、李方虎、李艳玲。
起草单位：本标准由浙江省标准化研究院牵头组织制定。 本标准主要起草单位：浙江金瑞泓科技股份有限公司。 本标准参与起草单位：金瑞泓科技（衢州）有限公司。
