T/ICMTIA SM006-2021标准基本信息
标准名称：集成电路线宽65nm-14nm逻辑工艺用300mm P/P-型硅外延片
标准编号：T/ICMTIA SM006—2021
国际标准分类号：01.020
国民经济分类：C261 基础化学原料制造
发布日期：2021年05月31日
实施日期：2021年07月30日
起草人：冯天，朱伟江，董彬，罗梅芳，黄柏喻，时寒，夏亮，张振，涂新星，陈菊英
起草单位：上海新昇半导体科技有限公司，武汉新芯集成电路制造有限公司，上海华力微电子有限公司
T/ICMTIA SM006-2021 集成电路线宽65nm-14nm逻辑工艺用300mm P/P-型硅外延片