T/ICMTIA PC007-2021 集成电路用氢氟酸

T/ICMTIA PC007-2021标准基本信息

标准名称：集成电路用氢氟酸

标准编号：T/ICMTIA PC007—2021

国际标准分类号：29.045

国民经济分类：C266 专用化学产品制造

发布日期：2021年05月31日

实施日期：2021年07月30日

起草人：陈刚、周黎旸、童继红、张学良、贺辉龙、赵晓亚、程文海、朱智敏、蒋梁疏、杨建成、徐建仙

起草单位：中巨芯科技有限公司