T/CNIA 0011-2019 气相沉积法碳化硅涂层

T/CNIA 0011-2019标准基本信息

标准名称：气相沉积法碳化硅涂层

标准编号：T/CNIA 0011—2019

国际标准分类号：29.045

国民经济分类：C398 电子元件及电子专用材料制造

发布日期：2019年02月13日

实施日期：2019年06月01日

起草人：于伟华、王彬、田新、张春伟

起草单位：江苏中能硅业科技发展有限公司、江苏协鑫特种材料科技有限公司