T/CNIA 0060-2020 多晶硅用氢气中磷化氢含量的测定 气相色谱法

T/CNIA 0060-2020标准基本信息

标准名称：多晶硅用氢气中磷化氢含量的测定 气相色谱法

标准编号：T/CNIA 0060—2020

国际标准分类号：77.040.01金属材料试验综合

国民经济分类：C356 电子和电工机械专用设备制造

发布日期：2020年05月27日

实施日期：2020年08月01日

起草人：刘文明、孟凡江、田洪先、高明、刘强、黄宗武、赵英、姜海明

起草单位：宜昌南玻硅材料有限公司、内蒙古神舟硅业有限责任公司