T/GVS 006-2022标准基本信息
标准名称：半导体射频电源和微波电源的输出偏差稳定性测量方法
标准编号：T/GVS 006—2022
英文标题：Method of measuring output deviation stability for semiconductor RF power supply and microwave power supply
国际标准分类号：19.080
中国标准分类号：K 80
国民经济分类：M745 质检技术服务
发布日期：2022年05月27日
实施日期：2022年05月27日
起草人：胡琅、陈浩、卫红、李晓峰、高峰、刘彭义、李晓刚、陈科球。
起草单位：季华实验室、中山凯旋真空科技股份有限公司、暨南大学。
范围：本文件规定了半导体射频电源和微波电源的输出偏差稳定性测量方法的术语和定义、符号和缩略语、总则、测试条件、测试要求。本文件适用于电气工作频率在100 kHz～3 GHz的半导体装备用射频电源和微波电源产品。
