T/NXCL 016-2022标准基本信息
标准名称：200 mm重掺锑直拉硅单晶抛光片
标准编号：T/NXCL 016—2022
英文标题：200 mm heavily antimony-doped single crystaline Czochralski silicon polished wafer
国际标准分类号：29.045
国民经济分类：C398 电子元件及电子专用材料制造
发布日期：2022年12月02日
实施日期：2022年12月02日
起草人：芮阳、商润龙、王黎光、伊冉、曹启刚、杨少林、熊欢、王忠宝、马成、周文辉、马吟霜、魏兴彤、张昆、盛之林、张友海、顾燕滨、黄柳青、范占军
起草单位：宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司、北方民族大学、杭州中欣晶圆半导体股份有限公司、厦门大学、宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司、宁夏高创特能源科技有限公司
