T/CZSBDTHYXH 001-2023标准基本信息
标准名称：半导体晶圆缺陷自动光学检测设备
标准编号：T/CZSBDTHYXH 001—2023
英文标题：Wafer defects Automatic optical inspection equipment
国际标准分类号：29.045
国民经济分类：C356 电子和电工机械专用设备制造
发布日期：2023年08月08日
实施日期：2023年08月09日
起草人：刘建明、刘庄、张彦鹏、周佼、王宏才、郭魂、张鸣杰
起草单位：江苏维普光电科技有限公司、常州市半导体行业协会、国家半导体照明产品质量检验检测中心（江苏）（常州检验检测标准认证研究院）、常州工学院
