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T/NXCL 30-2024 300 mm低氧含量直拉硅单晶

下载格式:pdf标准分类:团体标准

T/NXCL 30-2024标准基本信息

标准名称:300 mm低氧含量直拉硅单晶

标准状态:现行

标准编号:T/NXCL 30—2024

中文标题:300 mm低氧含量直拉硅单晶

英文标题:300 mm low oxygen content single crystaline Czochralski silicon

国际标准分类号:29.045

国民经济分类:C398 电子元件及电子专用材料制造

发布日期:2024年02月06日

实施日期:2024年02月06日

起草人:芮阳、商润龙、王黎光、杨少林、陈亚、赵泽慧、白圆、马成、曹启刚、王忠保、熊欢、李聪、王云峰、李长苏、顾燕滨、盛之林、黄柳青、盛旺

起草单位:宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司、北方民族大学、杭州中欣晶圆半导体股份有限公司、厦门大学、宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司、宁夏高创特能源科技有限公司

是否包含专利信息:否

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