T/QGCML 4573-2024 高精度超洁净晶圆电化学电镀腔体网格盘生产制造规范

T/QGCML 4573-2024标准基本信息

标准名称：高精度超洁净晶圆电化学电镀腔体网格盘生产制造规范

标准编号：T/QGCML 4573—2024

国际标准分类号：31.020

国民经济分类：C397 电子器件制造

发布日期：2024年08月12日

实施日期：2024年08月27日

起草人：罗中平、雷超、赵鹏志。

起草单位：常熟市兆恒众力精密机械有限公司、苏州市兆丰精密机械有限公司、苏州新意精密机械有限公司。