标准号：T/CEMIA 032-2022
标准名称：显示面板用氧化层缓冲刻蚀液
英文名称：Buffered oxide etchant for display panels
发布日期：2022-04-20
实施日期：2022-07-20
本文件规定了显示面板用氧化层缓冲刻蚀液的缩略语、分类、要求、检验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存和安全。 本文件适用于由氢氟酸水溶液和氟化铵水溶液组成的显示面板用氧化层缓冲刻蚀液，适用于显示面板制造中硅氧化物和氮化硅层的蚀刻，同样适用于硅氧化物和氮化硅层的清洗过程。 氢氟酸和氟化铵的基本信息见附录A中的A.1。
起草人：蒋哲男、邢攸美、高立江、胡涛、陈东良、张之钧、胡阳、刘伟鑫、闫广学、周淑飞、张振洋、梁龙飞、彭澳、徐森彪、李盈盈、洪明卫、季文涛、王小栋、刘永南、施珂、李林佳、周利超、陈海刚、章帅迪、徐一航
起草单位：杭州格林达电子材料股份有限公司
发布部门：中国电子材料行业协会
