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T/CCGA 30009-2025 电子级混合气体配制技术要求

标准名称:电子级混合气体配制技术要求

标准编号:T/CCGA 30009—2025

英文标题:Technical requirements for preparation of electronic gases mixture

国际标准分类号:71.100.20工业气体

中国标准分类号:L90

国民经济分类:C398 电子元件及电子专用材料制造

发布日期:2025年04月25日

实施日期:2025年05月25日

起草人:马银川、李晓、洑春干、王林章、柳彤、张净普、杨金山、鲍光强、杜卫东、吴国忠

起草单位:北京首钢气体有限公司、中国工业气体工业协会、中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司、杭州新世纪混合气体有限公司、中国电子气体及材料百人会

范围:本文件规定了电子级混合气体的配制或制备的基本要求、设备设施要求、技术要求、配制要求,标志、包装及使用要求。本文件适用于电子级混合气体的配制或制备。

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