标准名称：半导体显示面板制造用湿法清洗设备技术规范
标准编号：T/SDZDH 0024—2026
国际标准分类号：29.020电气工程综合
国民经济分类：C3891 电气信号设备装置制造
发布日期：2026-04-29
实施日期：2026-04-29
起草人：王维、于德意、王育才、李芳芳、韩冬、乔佳原、刘海啸、祝加贝、袁珩、靳松、郭以贺、宗见、魏强
起草单位：山东瑞翼德科技股份有限公司、专芯精控(雄安)科技有限公司、威海联创工业自动化科技股份有限公司
本文件规定了半导体显示面板（TFT-LCD&OLED）制造用湿法清洗设备的工作原理和类型、主要结构、功能要求与技术要求。
