T/CASAS 068-2026 碳化硅晶片制造用各向同性多孔石墨

标准名称：碳化硅晶片制造用各向同性多孔石墨

标准编号：T/CASAS 068—2026

国际标准分类号：31电子学 31-030电子技术专用材料

国民经济分类：C 制造业 C30 非金属矿物制品业 C309 石墨及其他非金属矿物制品制造 C3091 石墨及碳素制品制造

发布日期：2026-05-06

实施日期：2026-05-06

本文件规定了碳化硅晶片制造用各向同性多孔石墨的技术要求、试验方法、检验规则、标识、包装、运输和贮存等。