DB13/T 5865-2023 晶圆表面颗粒度检查仪校准方法

DB13/T 5865-2023标准基本信息

标准名称：晶圆表面颗粒度检查仪校准方法

标准号：DB13/T 5865-2023

发布日期：2023-10-25

实施日期： 2023-11-25

制修订：制定

中国标准分类号：A 50

国际标准分类号：17.040.20

批准发布部门：河北省市场监督管理局

行业分类：科学研究和技术服务业

标准类别：方法标准

DB13/T 5865-2023 晶圆表面颗粒度检查仪校准方法