JC/T 2133-2012标准基本信息
标准名称：半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法
标准号：JC/T 2133-2012
发布日期：2012-12-28
实施日期：2013-06-01
制修订：制定
中国标准分类：G14
技术归口：全国工业陶瓷标准化技术委员会
批准发布部门：工业和信息化部
行业分类：无
标准类别：无
起草单位：中国科学院上海硅酸盐研究所
起草人：陈奕睿、屈海云 等
JC/T 2133-2012 半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法