YS/T 14-2015标准基本信息
标准名称：异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法
标准号：YS/T 14-2015
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
制修订：修订
代替标准：YS/T 14-1991
中国标准分类：H21
国际标准分类：77.040.
技术归口：全国有色金属标准化技术委员会
批准发布部门：工业和信息化部
行业分类：制造业
标准类别：方法标准
起草单位：南京国盛电子有限公司、有研新材料股份有限公司、上海晶盟硅材料有限公司
起草人：马林宝、杨帆、葛华等
本标准适用于测量衬底与沉积层之间界面层厚度小于100nm的异质外延层和硅多晶层的厚度，测量范围为1μm～100μm。